本刊訊 2019年11月26日,露笑科技股份有限公司與中科鋼研節能科技有限公司、國宏中宇科技發展有限公司在北京簽署了《中科鋼研節能科技有限公司與國宏中宇科技發展有限公司與露笑科技股份有限公司碳化硅項目戰略合作協議》。經三方商定,由中科鋼研主導工藝技術與設備研發工作,國宏中宇主導產業化項目建設、運營與市場銷售工作,露笑科技主導設備制造、項目投融資等工作并全程深入參與各項工作,通過各方的密切合作將碳化硅項目建設成為世界級的第三代半導體材料領軍企業。
為了適應5G通訊市場對于高性能、高頻HEMT器件需求的快速增長,根據國宏中宇碳化硅產業化項目的近期發展規劃,露笑科技及(或)其控股企業將為國宏中宇主導的碳化硅產業化項目定制約200臺碳化硅長晶爐。這次三方進行共同合作,重點依托中科鋼研及國宏中宇在碳化硅晶體材料生長工藝技術方面已經取得的與持續產出的研發成果,結合露笑科技的真空晶體生長設備設計技術及豐富的裝備制造技術與經驗,共同研發適用于中科鋼研工藝技術要求的4英寸、6英寸、8英寸乃至更大尺寸級別的碳化硅長晶設備,目前首批2臺套升華法碳化硅長晶爐已經完成設備性能驗收交付使用,經過優化后的碳化硅長晶爐設備將應用于國宏中宇主導的碳化硅產業化項目中。
同時,中科鋼研及國宏中宇在碳化硅襯底片加工、清洗及檢測方面所取得的研發成果,結合露笑科技在藍寶石襯底片加工技術上的優勢、產品品質管理與生產組織經驗,三方共同建設碳化硅襯底片加工中心,對于滿足國內外快速增長的6英寸及以上尺寸級別的碳化硅襯底片市場需求,不斷提升的襯底片質量與成品率水平將發揮十分重要作用。
中科鋼研、國宏中宇、露笑科技三方實現強強聯合,對于促進碳化硅領域的業務布局和發展,增強企業的研發創新能力,提高市場競爭力具有深遠的戰略意義。